近日，韓國某半導體制造企業(yè)采購部發(fā)郵件告知，其在洛陽薄壁精密軸承有限公司定制的型號為SB0080XP5不銹鋼等截面薄壁軸承在晶圓清掃設備中完成了連續(xù)無故障運行測試（企業(yè)要求3-5萬小時），助力設備月稼動率從82%躍升至90%，創(chuàng)下該企業(yè)產(chǎn)線效率新紀錄。這一突破性進展標志著國產(chǎn)高精密軸承在半導體核心設備領域實現(xiàn)進口替代，并獲國外客戶認可。
洛陽薄壁精密軸承有限公司自成立之初，即將產(chǎn)品重 心放在了開發(fā)生產(chǎn)等截面薄壁軸承上，經(jīng)過十多年的發(fā)展，企業(yè)研發(fā)能力得以增強，企業(yè)的生產(chǎn)也從最初的只生產(chǎn)標準型號到來圖定制。
SB0080XP5是洛陽薄壁精密軸承專為晶圓設備苛刻工況定制的產(chǎn)品，其標準型號結構為：內徑165.1mm、外徑180.975mm、厚度7.938mm，定制產(chǎn)品采用SUS440C不銹鋼材質，不銹鋼密封，混合球結構，實現(xiàn)了零顆粒污染，滿足了制程晶圓表面零缺陷要求；耐腐蝕升級，壽命較傳統(tǒng)軸承提升3倍；同時，其超低摩擦扭矩，降低機械臂電機負載。
在韓國工廠的實測中，SB0080XP5展現(xiàn)出可靠性：MTBF（平均無故障時間）達到了企業(yè)要求的標準，設備稼動率得到了8%的提升。
“SB0080XP5的穩(wěn)定性遠超預期！”該企業(yè)采購部樸部長表示，“測試數(shù)據(jù)證實，洛陽薄壁軸承的性能可對標美系品牌，而成本優(yōu)勢顯著。我們計劃于本季度簽署連續(xù)供貨協(xié)議并建立戰(zhàn)略庫存，以保障產(chǎn)線擴產(chǎn)需求。”
洛陽薄壁精密軸承有限公司技術楊總監(jiān)指出：“SB0080XP5的成功驗證了國產(chǎn)軸承‘ji
薄、ji凈、ji穩(wěn)’的技術路線。隨著全球半導體設備需求激增，我們已啟動陶瓷混合軸承（Si3N4球）與智能傳感軸承的研發(fā)，賦能客戶向2nm及以下先進制程沖刺。”
